Add to wishlist
HIWIN Robot Multi Axis Wafer RWS
HIWIN Robot Multi Axis Wafer RWS
HIWIN Robot Multi Axis Wafer RWS
HIWIN Robot Multi Axis Wafer RWS

Hiwin Robot Multi Axis Wafer RWS

Feature | Hiwin Wafer Robot RWS

  1. The advantage is on vertical integration of bothhardware and software, also using high precisionand stiffness DD motor, the repeatability can reach±0.02mm. Small circling radial and high utilizationof space.
  2. Applications include: Pick –and –place equipment inSemiconductor industry (pick-and place of wafer), Optoelectronics(mini panel, mini solar panel) andLED industry (sapphire substrate, rubber ring).
  3. Various options for end effectors such as vacuumtype, gripping type and flipping type. Able to providetotal solution to adapt to all kinds of customerapplications.
Category:

Hiwin Robot Multi Axis Wafer RWS

แขนหุ่นยนต์ RW รองรับฟังก์ชั่นการวาง, การหยิบ, การหนีบ เซ็นเซอร์เป็นอุปกรณ์สามารถตรวจจับได้ว่าแผ่นเวเฟอร์มีแผ่นลามิเนตหรือชิ้นส่วนที่เอียงก่อนที่จะมีการฟิล์ม

หุ่นยนต์ไฮวิน Wafer Robot RWS

HIWIN Robot Multi Axis Wafer RWS


Feature | Hiwin Wafer Robot RWS


  1. The advantage is on vertical integration of bothhardware and software, also using high precisionand stiffness DD motor, the repeatability can reach±0.02mm. Small circling radial and high utilizationof space.
  2. Applications include: Pick –and –place equipment inSemiconductor industry (pick-and place of wafer), Optoelectronics(mini panel, mini solar panel) andLED industry (sapphire substrate, rubber ring).
  3. Various options for end effectors such as vacuumtype, gripping type and flipping type. Able to providetotal solution to adapt to all kinds of customerapplications.


RWS-T_thumbnail


RWS-T_thumbnail


Specifications | Hiwin Wafer Robot RWS


MODEL RWS
135 / 185 mm
ภาระโหลด 0.5 kg
R/W แกน ความเร็ว 750 mm/sec
T แกน ช่วงการหมุน 0 ~ 340 deg
ความเร็วเชิงมุม 250 deg/sec
Z แกน ระยะแกน 340/400/500 mm
ความเร็ว 250 mm/sec
วิธีการล็อค แก้ไขฐานล่าง / บนสุด
น้ำหนักหุ่นยนต์ 45 – 55 kg ไม่วม ตู้คอนโทรล
ความสะอาด Class 100
ความละเอียด ±0.02 mm
ช่องทางการสื่อสาร RS232 / Ethernet
I/O 14 IN / 9 OUT
ความยาวลำตัว 5 m
แรงดันไฟฟ้า 200-240 V (AC) 1 เฟส
กระแสไฟฟ้า 5 A
แรงดันดูด φ6 : -40 ~ -60 kPa



RWS_dis



Model Table


RW – S – T Z400 R135 – Cta – F – M – T
หุ่นยนต์เวเฟอร์ – ประเภทแขน – ประเภทคงที่ Z แกนขึ้นลง แขนยาว – ชนิด – F – M – T
RW – S: แขนหนึ่งข้าง
D: ติดกริปเปอร์		 – อยู่ระหว่าง
การทำข้อมูล		 Z340
Z400
Z500

*กำนดเองได้

 R135
R185

*กำหนดเองได้

 – Ata: ดูดแวคคั่ม
Cta: แคลมป์
Rta: งานพลิก		 – F: งา – M: เซ็นเซอร์การ์ด
None: ไม่มี		 – T: สอนทีช
None: ไม่มี


FORK (ความต้องการของลูกค้าสามารถเลือกตามตารางที่เหมาะสมกับงานที่จะใช้)


RWS_fork

รหัส ขนาดเวเฟอร์ การใช้งาน D1 D2 D3 D4 D5 D6 D7
F01 2″~4″ ดูดด้วยแวคคั่ม 220 25 25 M3 35 25 30
F02 8″~12″ ดูดด้วยแวคคั่ม 250 40 35 M3 60 100 140
F03 2″~8″ ดูดด้วยแวคคั่ม 199 25 25 M3 35 N/A 23
F04 2″~6″ ดูดด้วยแวคคั่ม 186 25 25 M3 35 N/A 20
F05 7″ หนีบ 155 35 35 M3 50 60 144
F07 8″ หนีบ 168 35 50 M3 105 65 105
F08 6″. 8″ ดูดด้วยแวคคั่ม 195 25 25 M3 35 55 85
F09 8″ ดูดด้วยแวคคั่ม 195 25 25 M3 35 110 150

รีโมททีชชิ่ง


  • มีขนาดเล็กพกพา และใช้งานง่ายผู้ใช้สามารถหาข้อมูลเพิ่มเติมหรือทดสอบของหุ่นยนต์ของเว็บไซต์
  • กดปุ่มฟังก์ชั่นแบบกราฟิกเพื่อให้ใช่งานง่าย
  • สวิตช์ความปลอดภัยเพื่อป้องกันไม่ให้ผู้ขยับหุ่นยนต์โดยไม่ได้ตั้งใจ


กรีปเปอร์ไฟฟ้า


  • ดูดด้วยแวคคั่ม ที่แผ่นเวเฟอร์, ประเภทแคลมป์ ที่ขอบเวเฟอร์และพื้นผิว
  • ประเภทพลิก : แผ่นเวเฟอร์และวัสดุจะถูกด้วยแวคคั่มแล้วแผ่นเวเฟอร์สามารถพลิกด้านหน้าหรือด้านหลังตามความต้องการของผู้ใช้งาน

ติดต่อ Hiwin, Linear Motion, Automation, Robot, System Intregration

Linear Motion Department

Related products

Hiwin Robot Multi Axis Wafer RWD
Add to wishlist
Quick View

Multi Axis Robot - Wafer

Hiwin Robot Multi Axis Wafer RWD